第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路

黄作平：“？？？？”

袁泽成：“？？？？”

众人：“？？？？”

当林决说出这话后，在场众人目光一下就变得有意思了起来。

袁泽成的手在空中挥了，表情错愕，仿佛想说些什么，但又找不到合适的形容。

过了好半晌之后。

终于。

袁泽成才像是回过神来一般，带着些许不敢置信，

“......已经想到合适方案！？”

林决微微点头，

“是的，在组建班子的这两天里，我认真研究了下光刻胶新的可行思路......”

说到这里，他轻轻一笑，

“大家都是业内专家，肯定也都清楚，目前全世界所有euv光刻胶，无论是有机car，亦或者金属mor......

成像原理，无不都依赖于化学键。”

“没错.....”

袁泽成闻言点头。

这件事情确实如林决所言。

无论是国内国外，目前关于光刻胶的研发，都是在光子照射，到分子键断开，然后结构破坏，最后溶解改变，完成材料。

虽然每家机构，在之中工程上有着明显差异，但底层逻辑，却是一样的。

“这已经是最成熟的方法了，但如果要创新，恐怕不是一朝一夕就能成，说不定更浪费时间......”

毕竟创新不但要花费大量人力物力试错。

而且最后的结果，也大概率达不到预期。

他更愿意的是......

看到林决在已有的框架上，对产品进行优化。

“袁教授要不先听听我的想法？”

林决对袁泽成倒是没啥意见。

真理是辩出来的。

在研发过程中，工程师在意见不合时，拍桌子互骂的情景，再常见不过了。

再者......

袁泽成作为魔都光机所的带头人。

刚被调过来打下手，可能目前还没适应身份。

劝林决，也几乎是职业养成的下意识反应。

袁泽成一愣，“额......您说。”

见状，林决便打开电脑的投影仪。

下一刻。

一个标题出现在众人眼中。

【笼促配位团簇euv光刻胶研发思路】。

这个想法，其实早在冯宴发生意外前，林决便在考虑的了。

最后......

先是通过开启【超频】找到思路，最后经过【全知】进行验证后。

林决终于完成了这套方案。

其核心思路。

是彻底抛弃化学键成像机制，利用自主构建euv激发二次电子，通过静电场缔合，完成溶解度切换。

全程不破坏分子结构，不拖落配体！

其中，最让林决满意的是，这种方法从根源上.......

完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———

真空出气污染！！

目前全世界做法。

只要进行曝光，那么必然产生有机碎片。

如此一来，金属小分子便必然会挥发，然后逆流，给光路镜面，pellicle薄膜造成污染。

这是传统方法不可逆的缺陷！

但林决却能大力出奇迹，直接窥探到一条全新路径。

.........

“笼促配位团簇？”

众人看着屏幕上那前所未闻的名词，神情都是有发懵。

见状，林决将ppt画面切掉，关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。

“在我的新方案中，要用到的核心理论，来自于笼腔电子势自捕理论，配位零解离稳定，库仑场可控缔合，无扩散局域反应......”

这些理论在高端功能材料，配位凝聚态领域，都是非常前沿的分支。

在座作为国内顶尖材料方面学者，对其基本都是有所涉猎。

不过在他们印象中。

像库伦可控，局域无扩散这俩理论。

以往都是用于设计储能，电响应软物质的.......

众人还是头一次看到，有人将他们用到极紫外感光成像之中来！

..........

接下来的一个小时里。

林决从框架上，大概跟众人讲述了下自己的思路。

不过，由于其中理论有理论颇具深度，也只有像袁泽成这般的顶级工程师，才能勉强跟上。

等到阐述完毕后。

林决目光扫了眼众人，自信开口，

“.......嗯，这套理论大概就是如此，大家可以先讨论讨论......有什么看法，等下也可以和我提。”

下方众人先是沉默了一会儿，然后，便开始了激烈的讨论。

“这套理论确实很让人惊讶，但让最后让静电作用于图案，如果工况稍微波动，到时候图形很可能全部漂移吧？

如此一来，品控照样难以保证。”

“是啊，还有长期累积电子过载怎么办？笼结构可是非常容易崩解的！”

“我怎么觉得这个想法非常惊艳啊！

而且在理论上来说，林教授的方法，基本可以做到完全根除光路污染，打破rls制衡！

简直不要太牛逼。”

“我赞成！我们如果走和国外研发同样的道路，估计永远追不上迭代速度。

林教授想法虽然激进了一些，但却有弯道超车的希望！”

会议室里，激烈的吵闹声混作一团。

黄作平见状，在一边对林决笑道，

“林教授......看来大家都是活力满满啊。”

这样的争论从来都不是坏事。

重大的理论突破，颠覆性的技术革新，本就需要如此的淬炼才行！！！

始作俑者林决只是微微耸肩，以表无辜。

终于......

在约莫十分钟的争论后，现场氛围终于逐渐缓和。

袁泽成作为在座最有资历的工程师，此时被推出来发问，

“林......林教授，我还是有个疑虑......”

“请说。”

“笼促结构人工合成难度极高，您也清楚，只要存在少量破笼，整个euv高能光子依旧会被打乱。

最后导致的结果，和真空污染其实并没有什么差别......”

“是的。”

林决点了点头，并未否认这套理论的缺陷。

闻言，袁泽成继续道，

“......从工程上来说，我们还没成熟的产业链......容错率太低，沉没到时候拉都拉不回来......”